제품소개
Dry Pump 제품소개 Dry Pump Model ESA FOR H2 APP
Model ESA 중 ESA25-D, ESA70W-D, ESA80W-D, ESA100W-D는 Light Gas의 배기 속도가 매우 빠르기 때문에 H2, He 등의 공정 가스를 많이 사용하는 응용 분야에서 효과적입니다.
MO-CVD 를 비롯한 Light Gas Process에서 하이테크 제어설계로 업계 선도적인 역할을 해왔습니다.Model | ESA25-D | ESA70W-D | ESA-80W-D | ESA100W-D | |
---|---|---|---|---|---|
Pumping speed (N2) | [L/min] | 2,500 (50 Hz) 3,000 (60 Hz) |
7,000 (50 Hz) 8,400 (60 Hz) |
8,400 | 10,000 |
Power at ultimate pressure | [kW] | 2.6 | 3.6 | 4.2 | 4.2 |
Weight, approx. | [kg] | 240 | 380 | 400 | 400 |
Dimension (W x L x H) | [mm] | 1074 x 394 x 520 | 985 x 400 x 770 | 985 x 400 x 800 | 985 x 400 x 840 |
Model ESA25-D
Model ESA70W-D
Model ESA80W-D
Model ESA100W-D