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Dry Pump
Harsh Process - Model EV-M
Harsh Process - Model EV-M

Dry Pump 제품소개 Dry Pump Harsh Process - Model EV-M

Harsh Process - Model EV-M

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Model EV-M는 고유한 온도 제어 및 2,000 ~ 110,000 [L/ min]의 Pumping속도를 처리하는 가변형 토크 작동을 특징으로 하는 Harsh 공정 적용을 위해 설계되었습니다.

EV-M Model은 Light & Harsh 작업을 처리 할 수 ​​있습니다. 또한 적은 전력을 소비하도록 설계되었습니다. Roots Type의 Rotor와 고성능 모터 및 인버터의 결합으로 에너지 효율성이 뛰어나고 Harsh 공정 응용 분야에 이상적입니다.
Advantage
  • 제품 처리량 향상
  • 소유 비용 절감
  • 설치 공간 줄이기
  • 가혹한 프로세스 기능
  • 누수 감지기(옵션)
  • SEMI, NRTL / CE
  • RPM 변화에 따른 조절 가능한 Pumping 속도
  • 추가 에너지 절감을 위한 Idle Mode
Application
  • Metal Etch
  • PE-CVD
  • LP-CVD
  • TEOS
  • Nitride
  • Oxide
Specification
Model EV-M20N EV-M102N EV-M202N EV-M302N EV-M502N EV-M802N EV-M1205N
 Pumping speed (N2) [L/min] 1,800 10,000 20,000 30,000 50,000 80,000 110,000
Power at ultimate pressure [kW] 1.2 1.8 1.9 2.3 2.1 2.8 5.3
 Weight, approx. [kg] 170 320 360 400 500 740 870
Sizes (LxWxH), 400 V version [mm] 820x370x620 810x380x922 870x380x922 961x380x1,000 1,015x485x1,040 1,140x630x1,105 1240x630x1119
Process Level
process level
  • EV-M20N

    Model EV-M20N

  • EV-M102N

    Model EV-M102N

  • EV-M202N

    Model EV-M202N

  • EV-M302N

    Model EV-M302N

  • EV-M502N

    Model EV-M502N

  • EV-M802N

    Model EV-M802N

  • EV-M1205N

    Model EV-M1205N