현장에서 간단히 설치가 가능한 Screw Type의 소형 건식 펌프입니다. Utility는 전원만 필요하여 설치가 용이하며, Tip seal/Oil 교환 또한 없습니다. 그리고 소규모 진공 요구량에(50~500[L/m]) 대응 가능합니다.

일반 진공 배기용 소형 공랭 펌프로 대기압 Pumping에 적합한 1,000[L/min]급 모델입니다. Utility는 전원만 필요하여 설치가 용이하며 CE, NRTL의 해외 규격에도 대응 가능합니다.

저 소비 전력, 저 소음으로 사용 가능한 펌프입니다. Utility는 전원만 필요하여 설치가 용이하며, CE, NRTL의 해외 규격에도 대응 가능합니다.

Motor 효율을 높이고 압축 단계를 최적화하여 모터 제어를 향상시킨 에너지 효율적인 펌프 입니다. 또한 통신에 의한 회전전속도의 제어가 가능하여 Idle Mode 설정이 가능합니다.

대형 진공 Chember의 고속배기 용도에 최적화 되어 있으며, 가스 부하에 따른 회전 수 자동제어 기능• 통신 기능 등의 부가가치를 탑재한 독립 설치형 드라이 펌프 입니다.

중급 공정에 적용 할 수 있도록 설계된 다단식 건식 진공 펌프입니다. ESR Model은 2,000~50,000[L/min]의 넓은 Pumping 속도 범위와 2 x 10^(-3)[mbar]의 극한 압력을 포괄합니다.

Medium Load Application에 안정적으로 작동하고 유지보수 기간이 길며 적용 용도에 맞는 최적의 온도 프로파일을 갖고 있습니다.

Harsh 공정에 적용할 수 있는 2단 Screw Type의 펌프입니다. 단일 Roots Type의 Booster Pump를 채택하여 더욱 빠른 배기속도를 실현하였습니다.

가혹한 작업 공정을 위한 다단 Roots Type으로 디자인된 Model입니다. Harsh한 환경에서 안전한 작동을 위한 정교한 솔루션과 EV-S 시리즈의 절전 기능을 결합하였습니다.