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Dry Pump
Air Cooled (공랭) - Model EV-A
Air Cooled (공랭) - Model EV-A

Dry Pump 제품소개 Dry Pump Air Cooled (공랭) - Model EV-A

Air Cooled (공랭) - Model EV-A

이미지

Model EV-A는 공랭식 Dry Pump로 비접촉식, Roots Type으로 설계되었습니다.

Dry Pump의 최고의 진공 성능이 요구되는 Load Lock, 분석 및 계측 장비를 비롯한 대부분의 일반산업에 적용이 가능합니다. EV-A Model은 Oil이나 물의 역류에 대한 우려가 없으며, 주기적인 Oil교체가 필요하지 않아 일반산업용 Pump로써 Water-sealed Pump, Oil Rotary Pump를 이상적으로 대체할 수 있습니다.
Advantage
  • 공랭식 Roots Type 진공펌프
  • 초기 설치 용이 (PCW, N2 불요, 작은 설치면적)
  • 증기, 용매 등 응축 Gas 대응 가능
  • 주파수 50[Hz], 60[Hz] 혼용 가능
Application
  • Load Lock
  • Analytical Instruments (LCMS, ICPMS)
  • Electron Microscopes
  • PVD Systems
  • Oxygen Plasma Systems
Specification
Model EV-A10
 Pumping speed (N2) [L/min] 1,000
Power at ultimate pressure [W] 1,100
Weight, approx. [kg] 72
Sizes (LxWxH) [mm] 544x317x344
Process Level
process level
  • EV-A10

    Model EV-A10