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제품소개

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제품소개
Dry Pump
Middle Process – Model EV-L
Middle Process – Model EV-L

Dry Pump 제품소개 Dry Pump Middle Process – Model EV-L

Middle Process – Model EV-L

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Model EV-L는 Light, Harsh 공정 사이의 중간급 공정에 적용하기 위해 개발되었습니다.

Light 공정용 펌프보다 생성물 형성의 잠재적 위험이 있는 공정에 적용이 가능합니다. 따라서 이러한 중간급 공정에 Harsh 공정용 펌프를 채택하지 않음으로써 펌프의 Over spec 선정 예방이 가능합니다.
Advantage
  • Intermediate Process 대응　
  • 생성물 방지 고온화 펌프
  • 저전력 펌프
Application
  • Sputtering
  • Sputtering
  • CVD
  • PVD
  • Ashing
  • lon implant
Specification
Model EV-L100N EV-L200N
Pumping speed [L/min] 10,000 18,000
Power at ultimate pressure [kW] 0.9 1.0
Dimension (W x L x H) [mm] 380 x 647 x 655 380 x 647 x 655
Approx. Weight [kg] 150 200
Process Level
process level
  • EV-PA50

    Model EV-L100N

  • EV-PA50

    Model EV-L200N