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오존발생기 - Model OZC
오존발생기 - Model OZC

Equipment 제품소개 Equipment 오존발생기 - Model OZC

오존발생기 - Model OZC

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오존 발생기는 코로나 방전 원리 (높은 전위의 전계에 산소를 통과)로 작동하고 기존의 오존 발생기 방법과는 다른 고성능 트렌치 방전기를 사용합니다. 트렌치 방전방식은 더 많은 표면적을 갖도록 설계되었으며, 이는 옆면 방전방식과 무성 방전 방식의 장점만을 채용하여 단위 방전 면적당 오존 농도를 최대로 높였습니다.
Advantage
  • 비약적으로 커진 단위 면적당 오존 발생량으로
    Ozonizer의 소형화 달성
  • 오존 누출 Sensor 표준 장착
Application
  • Dry photoresist ashing
  • Sputtering
  • Dry and wet cleaning
  • Surface oxidation
  • Annealing of oxide layers
  • Ultrapure water disinfecting