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Dry Pump
Air Cooled (공랭) - Model EV-SA
Air Cooled (공랭) - Model EV-SA

Dry Pump 제품소개 Dry Pump Air Cooled (공랭) - Model EV-SA

Air Cooled (공랭) - Model EV-SA

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Model EV-SA는 EBARA의 반도체 공정 주력 제품으로 수많은 실적을 보유한 EV-S 디자인을 사용하여 신뢰성이 높은 펌프입니다.

EV-SA Model은 공랭식의 비접촉식, Roots Type Dry Pump로 N2, 냉각수가 전혀 필요하지 않은 Model입니다. 따라서, Utility의 사용이 어려운 환경에서도 초기적용이 용이합니다. 1,000~5,000[L/min]의 다양한 Line-up을 갖추어 다양한 일반산업에 적합합니다.
Advantage
  • 소형&경량 공랭식 Dry Vacuum Pump
  • 수증기 최대 30[g/hr] 처리가능
  • Oil & Utility 불요
  • 회전속도 제어 가능
  • 넓은 Cover 용량 (1,000~5,000[L/min])
  • 저소음 Model
  • 에너지 절약
Application
  • 식품 가공
  • 포장 산업
  • 코팅 산업
  • 디스플레이
  • 전자 현미경
  • 각종 연구/분석 장비
Specification
Model EV-SA20 EV-SA30 EV-SA50
Pumping speed (N2) [L/min] 1670 3300 5000
Power at ultimate pressure [kW] 0.45 0.45 0.5
Dimension (W x L x H) [mm] 324 x 584 x 347 356 x 713 x 347 317 x 650 x 533
Approx. Weight [kg] 65 90 150
Process Level
process level
  • EV-SA20

    Model EV-SA20

  • EV-SA30

    Model EV-SA30

  • EV-SA50

    Model EV-SA50