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Dry Pump
Model ESA for large-volume atmospheric
Model ESA for large-volume atmospheric

Dry Pump 제품소개 Dry Pump Model ESA for large-volume atmospheric

Model ESA for large-volume atmospheric

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Model ESA 중 ESA200W, ESA300W, ESA500W, ESA700W는 FPD 및 LCD 공정 시스템의 Load Lock 및 Transfer Chamber등 대용량 챔버의 고속 배기에 특화된 펌프입니다.

고사양의 Main Pump를 채택함으로써 초기 Pumping시 안정적인 고속 배기를 실현하였습니다.
Advantage
  • 대기압 배기속도에 강점(대용량 Main Pump 채택)
  • 낮은 사용 비용 (소비전력, 유틸리티, 설치면적)
  • 다양한 Pumping 속도
  • 최첨단 제어 및 모니터링 장치
  • Running Cost 절감 (Idle Mode 가능)
Application
  • Metal Organic Chemical Vapor Deposition
    (MOCVD)
  • Molecular Beam Epitaxy (MBE)
  • Hydride Vapour Phase Epitaxy(HVPE).
  • LEDs for FPD backlighting
  • 고성능 레이져
  • 조명/신호등 제조
Specification
Model ESA200W ESA300W ESA500W ESA700W
 Pumping speed (N2) at 50 Hz [L/min] 20,000 28,000 50,000 80,000
Power at ultimate pressure [kW] 3.2 (50 Hz), 3.4 (60 Hz) 6.6 (50 Hz), 7.3 (60 Hz) 6.7 (50 Hz) 7.4
Weight, approx. [kg] 420 700 750 1200
Sizes (LxWxH) [mm] 970x400x907 1110x620x945 1110x620x1010 1320x690x1205
Process Level
process level
  • ESA200W

    Model ESA200W

  • ESA300W

    Model ESA300W

  • ESA500W

    Model ESA500W